廢氣處理又稱廢氣凈化，指的是針對工業場所、工廠車間產生的廢氣在對外排放前進行預處理，以達到國家廢氣對外排放的標準的工作。

    催化焚燒爐是一種類似熱氧化的方式來處理VOC的,它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰,操作溫度較熱氧化低一半,通常為250℃～500℃。由于溫度降低,允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料,大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似,系統仍可分為間壁式催化焚燒爐和蓄熱式催化廢氣焚燒爐兩類熱量回收方式。

    間壁式催化焚燒爐(簡稱為TR0)是在催化床后設一個換熱器,該換熱器在降低排放氣溫度的同時,也預熱含VOC，有機廢氣處理,其熱回收達60%～75%。該類氧化器早已用于工業過程。

   蓄熱催化焚燒爐(簡稱為RCO)是一種新的催化技術。它具有RTO高效回收能量的特點和催化反應的低溫操作及能量有效性的優點,將催化劑置于蓄熱材料的頂部,來使凈化達到較優,其熱回收率高達95%～98%。RCO系統性能的關鍵是使用專用的催化劑,浸漬在鞍狀或是蜂窩狀陶瓷上的貴金屬或過渡金屬催化劑,允許氧化發生在RTO系統溫度的一半,既降低了燃料消耗,又降低了設備造價。
    有的國家已經開始使用RCO技術進行有機廢氣的消除處理,很多RTO設備已開始轉變成RCO,這樣可以削減操作費用達33%～75%,并增加排放氣流量達20%～40%。